国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“温降控制方法和温降控制系统”的专利,公开号CN121969062A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本申请公开一种温降控制方法和温降控制系统,温降控制方法包括:确定待降温件的温度值;在所述温度值大于第一阈值的情况下,控制降温器件以预设功率工作,其中,所述第一阈值大于预设值;在所述温度值小于所述第一阈值,且大于所述预设值的情况下,控制所述降温器件自所述预设功率切换至第一功率工作,其中,所述第一功率小于所述预设功率;在所述温度值等于或小于预设值的情况下,控制所述降温器件停止工作。上述温降控制方法可以解决目前的硅片均基于同一降温标准下进行降温,容易导致部分硅片的温降无法满足要求,进而造成该部分硅片的工艺效果不佳的问题。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1411次,财产线索方面有商标信息73条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
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